| 2019.12.11
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반도체를 제조하는데 있어서 기술적으로도 가장 어렵고 가장 중요하다고 할 수 있는 포토공정을 실제 면접 기출 질문을 기반으로 해서 상세히 설명해주셔서 쉽게 이해할 수 있었습니다. 포토 공정의 세부 공정을 순서별로 이해할 수 있었고 노광에 대해서 빛의 회절 특성에 기반하여 공정의 정의와 특징, 노광 공정의 변화에 대해 이해할 수 있었습니다. 특히 노광공정에서 중요한 두가지 변수인 Resolution과 DOF에 대해 쉽게 이해할 수 있었습니다. 또한 액침노광인 물을 사용하는 Immersion 공정이 인상 깊었습니다.